Cara kerja Thermal Mass Flow Meter

Flow meter Thermal mass menggunakan sifat termal fluida untuk mengukur laju aliran fluida yang mengalir dalam pipa atau saluran. Umumnya dalam flowmeter thermal, jumlah panas tertentu akan diterapkan pada sensor pemanas. Sebagian panas ini hilang karena fluida yang mengalir. Saat aliran meningkat, lebih banyak panas yang hilang. Jumlah panas yang hilang diukur dengan mengukur selisih suhu. Transmitter menggunakan input panas dan pengukuran suhu untuk menentukan laju aliran fluida. Kebanyakan Flow Meter Thermal Mass digunakan untuk mengukur aliran gas.
Jumlah panas yang hilang dari sensor tergantung pada desain sensor dan sifat termal fluida. Sifat termal fluida dapat dan memang bervariasi dengan tekanan dan suhu, namun variasi ini biasanya kecil di sebagian besar aplikasi. Dalam aplikasi ini di mana sifat termal fluida diketahui dan relatif konstan selama operasi aktual, flowmeters termal dapat digunakan untuk mengukur aliran massa fluida karena pengukuran aliran termal tidak tergantung pada tekanan atau suhu fluida.

Namun, dalam banyak aplikasi, sifat termal fluida dapat bergantung pada komposisi fluida. Dalam aplikasi ini, berbagai komposisi fluida selama operasi aktual dapat mempengaruhi pengukuran aliran termal. Oleh karena itu, penting bagi user Thermal Mass Flow Meter untuk mengetahui komposisi fluida sehingga faktor kalibrasi yang tepat dapat digunakan untuk menentukan laju aliran secara akurat. Karena kendala ini, Flow Meter Thermal Mass biasanya diterapkan untuk mengukur aliran gas murni. Distributor dapat memberikan informasi kalibrasi yang tepat untuk campuran gas lainnya, namun keakuratan flowmeter termal bergantung pada campuran gas aktual yang sama dengan campuran gas yang digunakan untuk tujuan kalibrasi. Dengan kata lain, keakuratan flowmeter termal yang dikalibrasi untuk campuran gas yang diberikan akan terdegradasi jika gas yang mengalir aktual memiliki komposisi yang berbeda.